盛拓半导体 半导体设备一站式解决方案服务商

  姑苏盛拓半导体科技有限公司成立于2021年8月，占地面积4000平。公司从事半导体制作设备范畴要害零部件与整机集成体系的研制、规划、出产、销售与技术服务，致力于为客户供给半导体设备一站式解决方案。

  公司首要经营产品：光刻机用特种电机和真空水冷特种电机、挨近式光刻机、激光干涉仪、微环境操控办理体系、超精细操控板卡、气浮块、纳米级精细运动台、晶圆机械手ROBOT、预对准模组Pre-Aligner及Efem等产品。

  量测一体化规范渠道是面向晶圆缺点查验测验和尺度量测的一体化设备。凭仗专业的开发团队在结构、核心部件、要害技术方面的不断的规划优化，使一体化渠道运动渠道能到达微米至纳米级的定位精度及重复定位精度。一体化渠道可搭载不同精度的运动渠道、隔振体系及EFEM，可以彻底满意不同客户的需求。

  减振器选用气囊完成被迫隔振，由音圈电机完成自动减振，经过传感器进行信号收集，反应到前端，运用音圈电机快速呼应，完成六自由度方向振荡消除。首要装备：气浮模块、制动器模块、信号监控模块、操控器模块。支撑定制。

  应用于晶圆Wafer无尘环境下，完成低振荡以及平稳快速地传送转移。选用双ARM，完成了晶圆的高速传输和双片同取放。首要装备：机械手底座、Z轴模组、传动机械胳膊、结尾执行器、操控器。